巨化股份11月18日晚公告，公司擬設(shè)立全資子公司并由其投資1.5億元實(shí)施高純電子氣體項(xiàng)目(一期)，以加快電子化學(xué)品業(yè)務(wù)培育，促進(jìn)轉(zhuǎn)型升級(jí)，優(yōu)化產(chǎn)業(yè)規(guī)劃。

　　該項(xiàng)目擬新建1000t/a醫(yī)藥級(jí)氯化氫、1000t/a高純氯化氫、500t/a高純氯氣等系列產(chǎn)品的生產(chǎn)裝置及相關(guān)配套設(shè)施。其中，高純氯化氫主要用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過(guò)程中的清洗和外延生長(zhǎng)工藝；高純氯氣主要用于液晶平板顯示器、光纖和半導(dǎo)體行業(yè)，被用作蝕刻氣體和脫水劑；醫(yī)藥級(jí)氯化氫產(chǎn)品主要用于醫(yī)藥合成原料。

　　據(jù)測(cè)算，項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計(jì)年均利潤(rùn)總額5200萬(wàn)元，所得稅前財(cái)務(wù)內(nèi)部收益率約為24%，所得稅后財(cái)務(wù)內(nèi)部收益率約為20%。根據(jù)公告，項(xiàng)目生產(chǎn)裝置計(jì)劃2015年4月開(kāi)工建設(shè)，2015年12月具備試車(chē)條件。

　　業(yè)內(nèi)人士介紹，電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。隨著我國(guó)超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場(chǎng)需求量明顯增長(zhǎng)，廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。例如在目前工藝技術(shù)較為先進(jìn)的超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過(guò)程中，全部工藝步驟超過(guò)450道，其中大約要使用50種不同種類(lèi)的電子氣體。（http://www.jjzdjbbx.cn/）